8月22日，至純科技開盤報價26.7元，收盤于27.500元，漲3.03%。當日最高價為27.98元，最低達26.69元，成交量3082.07萬手，總市值為105.5億元。

8月22日消息，至純科技主力凈流入2256.85萬元，超大單凈流入3788.39萬元，散戶凈流入878.86萬元。

近5日資金流向一覽見下表：

至純科技（603690）主營業務為高純工藝系統的整體解決方案。至純科技(603690)披露2025年第一季度報告，報告期實現營收7.28億元，同比-10.32%;歸母凈利潤1901.61萬元，同比-70.09%；扣非凈利潤1024.76萬元，同比-83.64%。

在所屬晶圓設備概念2025年第一季度營業總收入同比增長中，中微公司、拓荊科技、盛美上海、華海清科、北方華創等5家是超過30%以上的企業；芯源微位于20%-30%之間；鼎龍股份位于10%-20%之間；聞泰科技、至純科技、中大力德等3家均不足10%。

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